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690069175

金虫 (正式写手)

头儿

[求助] 磁控溅射腔内气味

请教大侠，磁控溅射腔内的气味是什么呢？我一般用Ar气，可是每次开仓就能闻到里面有一股馊味儿。不知道是什么的东西的味道，清理腔体之后会好些...
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镀金
1楼 2013-10-23 16:36:14
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690069175

金虫 (正式写手)

头儿
引用回帖:
2楼: Originally posted by 小风12 at 2013-10-23 19:40:16
氩气电离后，氩氧比，氧气也有可能被电离，会形成臭氧的味道。

不过我没有通入氧气，这个氧是哪里来的呢？
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镀金
3楼2013-10-24 11:29:48
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小风12

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
690069175: 金币+5, ★★★很有帮助 2013-10-25 07:56:45
氩气电离后，氩氧比，氧气也有可能被电离，会形成臭氧的味道。
赞一下(1人) 回复此楼
tranqulity
2楼2013-10-23 19:40:16
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690069175

金虫 (正式写手)

头儿
引用回帖:
2楼: Originally posted by 小风12 at 2013-10-23 19:40:16
氩气电离后，氩氧比，氧气也有可能被电离，会形成臭氧的味道。

老师也说过是臭氧的味道
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镀金
4楼2013-10-24 11:30:17
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lzy11189

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
690069175: 金币+5, 博学EPI+1, ★★★很有帮助 2013-10-25 07:56:23
可能是本底真空度不够，有氧气残余
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2013-10-24 14:51:24
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