| 查看: 3672 | 回复: 14 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
[求助]
磁控溅射镀不上去膜！！
|
|||
本人用的是沈科仪的JGP450磁控溅射设备。直流溅射，起辉正常，气压在1pa左右，时间0.5h，氩气流量30sccm。镀的是ZrCu合金靶。靶材每次都用角磨机处理表面。靶基距大概在9cm。做SEM，基本上很少一点才会镀上去！另外求教哪个是阳极？是基片还是靶罩。 3#_m001.JPG [ Last edited by cstt2007 on 2013-4-9 at 17:41 ] |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 PVD镀膜类技术资料 |
» 猜你喜欢
梦想
已经有5人回复
-
中青基了要发朋友圈吗？
已经有7人回复
-
有多少人是今天查系统知道结果的？
已经有19人回复
-
29号明天会评吗
已经有4人回复
-
国社科又开始会评了，不知道这次命运如何
已经有10人回复
-
基金不中，共勉
已经有12人回复
-
能否申诉？
已经有7人回复
-
面上意见出来了
已经有19人回复
-
为什么到现在没收到通知？
已经有5人回复
-
有没有仍没收到信息的
已经有8人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 磁控溅射镀的ZTO薄膜不导电
已经有15人回复
- 关于磁控溅射直流镀锌
已经有25人回复
- 磁控溅射在玻璃片上镀了一层AZO薄膜，如何表征
已经有12人回复
- 磁控溅射腔室内的铝靶变质了 急！急！急！
已经有6人回复
- 关于磁控溅射靶材的颗粒
已经有10人回复
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复
- 请教磁控溅射的气压和功率对薄膜质量的作用，谢谢！
已经有20人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？
已经有9人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 磁控溅射镀氧化铝
已经有35人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 【求助】求助：磁控溅射问题
已经有20人回复
5楼2013-04-10 11:50:47
感谢参与，应助指数 +1
|
本帖内容被屏蔽 |
3楼2013-04-09 21:02:59
4楼2013-04-10 11:50:02
corazon886
铁虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 29.5
- 帖子: 7
- 在线: 22.9小时
- 虫号: 1318391
- 注册: 2011-06-08
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
6楼2013-04-10 14:32:37
