| 查看: 2550 | 回复: 17 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
直流脉冲磁控溅射镀硅膜阳极掉渣严重 已有1人参与
|
||
| 各位虫友，我最近用脉冲直流磁控溅射在玻璃基片上镀硅膜。靶悬挂在真空室上方，基片放在靶正下方。实验中, 本底真空为2*10^4 pa，Ar：1000 sccm, 功率为7kw，最后硅膜的厚度为20微米。不知为什么在镀的过程中，靶阳极上镀上的硅会发生脱落，落在基片上，在硅膜上产生了很多的坑。大家以前做的时候遇到过这种情况吗？怎么才能有效的避免阳极上镀上的硅不发生脱落？谢谢大家帮忙 |
回复此楼» 猜你喜欢
化工京区271求调剂
已经有4人回复
-
295求调剂。一志愿报考郑州大学化学工艺学硕，总分295分
已经有5人回复
-
求调剂
已经有10人回复
-
材料284求调剂，一志愿郑州大学英一数二专硕
已经有11人回复
-
0856化工专硕求调剂
已经有15人回复
-
303求调剂
已经有5人回复
-
289求调剂
已经有4人回复
-
江苏省农科院招调剂1名
已经有4人回复
-
290分材料工程085601求调剂 数二英一
已经有3人回复
-
0856调剂
已经有7人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 直流磁控溅射与射频磁控溅射镀银
已经有15人回复
- 直流磁控溅射 溅射无法起弧 靶材刻蚀严重
已经有13人回复
- 射频磁控溅射镀膜都可以通入哪些气体
已经有11人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 我用磁控溅射镀的硼膜，是这个样子的，请问高手们是什么原因，该怎么办？
已经有9人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
- 【求助】射频磁控溅射镀4um厚的铝膜，颜色发白是怎么回事啊~~~
已经有8人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】直流磁控溅射AlN薄膜的工艺条件，比如氮气流量、比例，镀膜气压？？靶电压？
已经有6人回复
- 【交流】请问用磁控溅射镀Ag膜时怎样留下出一条台阶以方便后面用台阶仪测其厚度呢？
已经有26人回复
- 【求助】磁控溅射和电子束蒸发两种方式来镀制金属铬膜，哪种的附着力好一些呢？
已经有5人回复
wangyong832
银虫 (著名写手)
- 应助: 29 (小学生)
- 金币: 2007.4
- 散金: 618
- 红花: 8
- 帖子: 1089
- 在线: 772.7小时
- 虫号: 551306
- 注册: 2008-04-26
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
5楼2012-12-30 03:31:20
xjtu-sunhl
金虫 (正式写手)
- 应助: 9 (幼儿园)
- 金币: 1245
- 散金: 10
- 帖子: 972
- 在线: 85.7小时
- 虫号: 1185730
- 注册: 2011-01-08
- 性别: GG
- 专业: 金属材料表面科学与工程
2楼2012-12-29 09:13:11
3楼2012-12-29 13:13:25
4楼2012-12-29 21:24:58
