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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 凝聚态物理 » 射频溅射银膜的速率
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wuzhaofeng

金虫 (正式写手)

[求助] 射频溅射银膜的速率

我们的磁控溅射设备上没有直流电源，最近又需要镀点银膜，只好用射频了。网上很难找到射频镀银的工艺这类文章。请做过这方面实验的虫友不吝赐教，射频镀银用的参数和生长速率。
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1楼 2012-12-25 15:20:25
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ddx-k

荣誉版主 (著名写手)

骑士II
生长速率、参数跟你的设备有很大的关系，你最好能找点跟你设备一致的做为参考。
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5楼2013-02-27 20:49:07
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xiaoqing8569

铁杆木虫 (著名写手)

奥林匹亚光学院院长
做铝镜的话
  越快越好，没特别要求
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3楼2012-12-26 14:44:20
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dearhanzi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
华丽的飘过: 金币+3, 3q 2013-01-19 05:39:14
镀金属，Ar气尽量 少点会好一些，其它没啥注意的，金属，特别是纯金很容易镀得。
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4楼2013-01-16 11:07:06
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