| 查看: 3282 | 回复: 11 | ||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||
[求助]
磁控溅射台真空度问题已有1人参与
|
||
|
我们的磁控溅射台一般都能抽到2×10-4 。可是现在 抽到8.4×10-4 真空度后却开始变低了，最后变为1.0×10-3 稳定不动了。我把分子泵关了，重新开一次，真空度还是抽到8.4×10-4 ，再抽不到10min以后，又变成10-3次方了。 有没有遇到类似情况的呢？是什么问题，怎么解决的？ |
回复此楼» 猜你喜欢
博士读完未来一定会好吗
已经有21人回复
-
导师想让我从独立一作变成了共一第一
已经有5人回复
-
到新单位后，换了新的研究方向，没有团队，持续积累2区以上论文，能申请到面上吗
已经有11人回复
-
读博
已经有4人回复
-
JMPT 期刊投稿流程
已经有4人回复
-
心脉受损
已经有5人回复
-
Springer期刊投稿求助
已经有4人回复
-
小论文投稿
已经有3人回复
-
Bioresource Technology期刊，第一次返修的时候被退回好几次了
已经有9人回复
-
申请2026年博士
已经有6人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
磁控溅射&离子溅射
已经有11人回复- 射频磁控溅射ZAO陶瓷靶时遇到的一些问题
已经有10人回复
- 新手求助，磁控溅射，在银上溅射SiO2二氧化硅
已经有15人回复
- 磁控溅射 镀铝
已经有54人回复
- 磁控溅射做薄膜失败了吗
已经有21人回复
- 求助关于磁控溅射的问题
已经有29人回复
- 磁控溅射镀ZnO，大家真空度一般抽到多少？
已经有18人回复
- 求助：磁控溅射镀金属膜，镀不上去
已经有4人回复
- 磁控溅射与反应磁控溅射
已经有18人回复
- 直流磁控溅射镀膜总是被氧化
已经有42人回复
- 做磁控溅射的朋友请进
已经有10人回复
- 磁控溅射分子泵升不上转问题
已经有7人回复
- 【请教】请教，关于Ar磁控溅射的溅射效率问题
已经有4人回复
- 【求助】磁控溅射 ZnO镀膜
已经有16人回复
- 【求助】请教磁控溅射金属膜问题
已经有23人回复
- 磁控溅射射频功率源的问题
已经有4人回复
- 【求助】关于磁控溅射SiO2的问题
已经有14人回复
- 【求助】为什么磁控溅射装备以前能起辉而现在不能起辉
已经有12人回复
jinghuasu
新虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1823.3
- 散金: 500
- 帖子: 109
- 在线: 32.8小时
- 虫号: 3604400
- 注册: 2014-12-20
- 专业: 原子和分子物理
11楼2015-03-30 08:06:26