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杨哲一

木虫 (小有名气)

[求助] 如何利用磁控溅射的方式制备多孔薄膜?

如题,需要制备表面为多孔结构的合金薄膜,请问用磁控溅射的方法如何实现?如何控制参数?谢谢!
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杨哲一

木虫 (小有名气)

自己顶一下,虫友们拜托了!
2楼2012-11-27 10:54:12
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