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如何利用磁控溅射的方式制备多孔薄膜?
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杨哲一
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虫号: 1003585
注册: 2010-04-22
性别: GG
专业: 金属结构材料
[
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]
如何利用磁控溅射的方式制备多孔薄膜?
如题,需要制备表面为多孔结构的合金薄膜,请问用磁控溅射的方法如何实现?如何控制参数?谢谢!
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2012-11-26 22:56:43
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杨哲一
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自己顶一下,虫友们拜托了!
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2012-11-27 10:54:12
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