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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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hui0087

木虫 (正式写手)

[求助] 光刻技术请教

各位虫友，最近刚刚学习光刻，却接连遭受失败的打击。仪器的曝光分辨率为5um，但是我曝光8um以及15um的圆孔阵列，却怎么也曝不出来，同样的条件曝光50um的阵列时却能够曝出来，用的是负胶，曝光时间为160s，显影时间为1.5min，具体的图片在附件（依次为50um，8um和15um），至今不明白到底是哪里出了问题？敢情各位虫友能够不吝赐教，指点迷津
50um



8um (图中尺寸标注不准确)



15um

[ Last edited by hui0087 on 2011-10-30 at 11:13 ]
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1楼 2011-10-30 11:05:09
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adwph

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
hui0087(金币+5): 谢谢你 2011-10-30 18:49:39
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-10-30 20:00:09
光刻图形的最小值不仅仅由曝光机的分辨本领决定的，尤其负胶-SU-8，还要考虑胶的厚度，也就是所谓的深宽比。如果深宽比很大，那么做起来就很难。再加上需要的线宽很小，比如8um。那就更难做了
需要多找些相关文献看看别人的试验结果。这个不能光靠仪器和材料的说明来搞
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2楼2011-10-30 16:42:18
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hui0087

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by adwph at 2011-10-30 16:42:18:
光刻图形的最小值不仅仅由曝光机的分辨本领决定的，尤其负胶-SU-8，还要考虑胶的厚度，也就是所谓的深宽比。如果深宽比很大，那么做起来就很难。再加上需要的线宽很小，比如8um。那就更难做了
需要多找些相关文献 ...

我用的是负胶是AR-N-4340，转速达到了6000转/秒，理论上的厚度为1.1um左右，但是曝光时间达到了160s，应该是可以了，呵呵。
此外，请教一下线宽是指 i 线宽的光栅比较小吗？不好意思，刚开始学习，呵呵……
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3楼2011-10-30 18:54:57
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maccaboy

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
hui0087(金币+2): 谢谢 2011-10-30 22:24:49
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-10-31 08:25:35
与你的光刻机类型也有关，  接触式? 还与图形也有关系，分辨率一般是指线条   你的图形是圆形哦。多个方面都有关系
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4楼2011-10-30 20:45:57
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ccpin

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
lchpy(金币+1): thanks for your information 2011-10-31 08:25:40
hui0087(金币+2): 谢谢，呵呵 2011-10-31 09:38:39
你这是挑战设备极限，需要所有条件都最优化才有可能。另，你用的都是什么设备？也许大家知道后会有更多针对性建议。
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5楼2011-10-31 06:58:31
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dengailaoshu

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

hui0087(金币+2): 谢谢 2011-10-31 09:39:40
增加曝光时间！尺寸越小的pattern需要的曝光时间也是越长的！我也不知道是为什么，反正实验的结果上是这么个样子的！
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我是一缕烟，被阳光镂空，清风吹散……
6楼2011-10-31 08:35:55
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hui0087

木虫 (正式写手)
引用回帖:
5楼: Originally posted by ccpin at 2011-10-31 06:58:31:
你这是挑战设备极限，需要所有条件都最优化才有可能。另，你用的都是什么设备？也许大家知道后会有更多针对性建议。

光刻机的型号是UREL-2000A的深紫外光刻机
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7楼2011-10-31 09:38:14
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kongjzh

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
hui0087(金币+2): 谢谢 2011-11-01 12:31:01
lchpy(金币+1): thanks for your information~ 2011-11-01 13:58:48
仪器的曝光分辨率为5um，你想做8um的
有点困难
就像楼上说的你这是在挑战设备极限
需要个个方面条件都最佳才可能
要不试试纳米压印
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8楼2011-11-01 12:16:50
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hui0087

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by dengailaoshu at 2011-10-31 08:35:55:
增加曝光时间！尺寸越小的pattern需要的曝光时间也是越长的！我也不知道是为什么，反正实验的结果上是这么个样子的！

我觉得应该是减少时间的吧，因为是负胶，减少曝光时间才能更好的去除涂胶的，呵呵
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9楼2011-11-03 14:11:14
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