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明光木虫 (著名写手)
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[交流]
目前的光刻技术（含NGL）主流工艺是什么？已有3人参与
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极紫外？193i？还是其他的？还是以极紫外和193i为主流，其他技术辅助？ 求指点！！！！！ |
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