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明光

木虫 (著名写手)

[交流] 目前的光刻技术(含NGL)主流工艺是什么? 已有3人参与

极紫外?193i?还是其他的?还是以极紫外和193i为主流,其他技术辅助?

求指点!!!!!
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心平气和,谦虚谨慎,创新上进!
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microsensor

木虫 (小有名气)


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Electronic beam lithgraphoto
2楼2012-05-02 02:20:53
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yangguang53

金虫 (小有名气)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
那要看你的工艺要求,不同的工艺有不同的做法
3楼2012-05-02 07:55:05
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zeusshang

金虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
工业上当然是193啦,十年内估计都是193的天下。不过193也有很多种。
EUV全世界也只有三四个地方真正能做工艺,目前还难于看到大规模应用的曙光,最近intel的表态10nm以下节点可能会用,不过可能性不大。EBL比较普遍,很多地方都有,不过以实验用居多,或者用来制版。
微纳加工
4楼2012-05-03 17:14:31
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