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hui0087木虫 (正式写手)
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光刻技术请教
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各位虫友，最近刚刚学习光刻，却接连遭受失败的打击 。仪器的曝光分辨率为5um，但是我曝光8um以及15um的圆孔阵列，却怎么也曝不出来，同样的条件曝光50um的阵列时却能够曝出来，用的是负胶，曝光时间为160s，显影时间为1.5min，具体的图片在附件（依次为50um，8um和15um），至今不明白到底是哪里出了问题？敢情各位虫友能够不吝赐教，指点迷津 50um  8um (图中尺寸标注不准确)  15um [ Last edited by hui0087 on 2011-10-30 at 11:13 ] |
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