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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【请教】光刻失败后 大家是如何清洗SiO2上的光刻胶的
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meganejc

新虫 (小有名气)

[交流] 【请教】光刻失败后 大家是如何清洗SiO2上的光刻胶的 已有18人参与

光刻失败了 SiO2片还想用。
我是用紫外光照-显影剂泡-丙酮-酒精-水 来清洗

但是之后再做光刻时 光刻胶和SiO2粘附不牢 很容易漂胶
技术员说这是因为SiO2表面很亲水

请教各位XDJM是怎么清洗和疏水化的
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1楼 2010-11-03 11:17:58
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joy_zheng

铜虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
二氧化硅粘胶不牢有可能是因为吸水造成的...以前遇到过这个问题，其实就是光刻之前确保片子烘干会好很多
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14楼2014-09-09 00:07:03
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