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磁控溅射制备的薄膜如何从基片上取下来
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磁控溅射制备的薄膜如何从基片上取下来
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我想用磁控溅射的方法制备一些合金薄膜,比如Cu基的,Pd基的、Au基的等等,制备薄膜以后,想把薄膜比较完整地从基片上取下来,请问该采用何种基片或者使用什么方法比较好?还请有经验的大神们多指教。谢谢!
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1楼
2016-09-11 16:38:34
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zcqimr
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2楼
:
Originally posted by
chailiqiang4
at 2016-09-11 16:59:11
NaCL
能否请您详细说说 采用何种基片 具体该怎么操作
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3楼
2016-09-11 17:21:53
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chailiqiang4
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2016-09-11 16:59:11
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专业: 金属材料的微观结构
用NaCl单晶做衬底,NaCl单晶溶于水,膜自然就取下来啦
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4楼
2016-09-11 17:38:09
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4楼
:
Originally posted by
Gavin6152
at 2016-09-11 17:38:09
用NaCl单晶做衬底,NaCl单晶溶于水,膜自然就取下来啦
请问您是想当然,还是自己做过?您说的这种基片,我看过的文献中从未报道过
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5楼
2016-09-11 19:02:42
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