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zcqimr木虫 (正式写手)
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磁控溅射制备的薄膜如何从基片上取下来 已有1人参与
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| 我想用磁控溅射的方法制备一些合金薄膜，比如Cu基的，Pd基的、Au基的等等，制备薄膜以后，想把薄膜比较完整地从基片上取下来，请问该采用何种基片或者使用什么方法比较好？还请有经验的大神们多指教。谢谢！ |
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 薄膜材料和器件制备 |
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chailiqiang4
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