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lp060337木虫 (正式写手)
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[求助]
磁控溅射技术——磨削用薄膜热电偶测温传感器制作
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各位虫友，大家好！ 问题：为了测量磨削加工20CrMnTi材料时的温度，在工件上制备NiCr/NiSi薄膜热电偶，结构示意图如图1所示。注意两点问题，第一：需要对制备薄膜热电偶测温传感的表面进行抛光，使抛光后的表面质量满足薄膜制备要求；第二，在研制和生产敏感元件和各种传感器的过程中，经常需要在高速钢、合金等导电基片上制作一层绝缘膜，然后再制作温度敏感膜。采用薄膜热电偶测温时，除测量接点外，薄膜热电极之间和连接导线之间均要求有良好的绝缘，否则会有热电势损耗而产生测量误差，甚至无法测量。绝缘膜制备成功后就开始溅射沉积测温敏感薄膜，具体的技术工艺路线如图2所示。 麻烦有这方面加工能力的虫友或者了解其他团体擅长该领域的虫友联系我 [ Last edited by sweety on 2014-9-11 at 21:54 ] |
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