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zcqimr

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射制备的薄膜如何从基片上取下来 已有1人参与

我想用磁控溅射的方法制备一些合金薄膜,比如Cu基的,Pd基的、Au基的等等,制备薄膜以后,想把薄膜比较完整地从基片上取下来,请问该采用何种基片或者使用什么方法比较好?还请有经验的大神们多指教。谢谢!
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chailiqiang4

金虫 (小有名气)

stayhungry,stayfoolish
2楼2016-09-11 16:59:11
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zcqimr

木虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by chailiqiang4 at 2016-09-11 16:59:11
NaCL

能否请您详细说说 采用何种基片 具体该怎么操作
3楼2016-09-11 17:21:53
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Gavin6152

金虫 (小有名气)

用NaCl单晶做衬底,NaCl单晶溶于水,膜自然就取下来啦

发自小木虫Android客户端
4楼2016-09-11 17:38:09
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zcqimr

木虫 (正式写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by Gavin6152 at 2016-09-11 17:38:09
用NaCl单晶做衬底,NaCl单晶溶于水,膜自然就取下来啦

请问您是想当然,还是自己做过?您说的这种基片,我看过的文献中从未报道过
5楼2016-09-11 19:02:42
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Gavin6152

金虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by zcqimr at 2016-09-11 19:02:42
请问您是想当然,还是自己做过?您说的这种基片,我看过的文献中从未报道过...

用过好多次了,只是质量好点的单晶有点贵

发自小木虫Android客户端
6楼2016-09-11 22:12:05
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邬新

金虫 (小有名气)

7楼2016-09-12 10:34:06
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zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS

何必看破
8楼2016-09-12 23:55:35
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
只要你的金属不怕碱或者酸的腐蚀,就用硅片。薄膜做好后,用酸或者碱腐蚀也把硅腐蚀干净就行。最好在边上做一个框支撑,否则腐蚀完了会卷一起不好拿。
如果对薄膜的底部的粗糙度没有什么高的要求,就用塑料片或者塑料膜。比如PI膜之类的。膜做好了用溶剂泡掉,或者用plasma干掉有机物。
9楼2016-09-14 15:09:12
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