应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » 磁控溅射制备的薄膜如何从基片上取下来
91/1返回列表
查看: 1499  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

zcqimr

木虫 (正式写手)

[求助] 磁控溅射制备的薄膜如何从基片上取下来 已有1人参与

我想用磁控溅射的方法制备一些合金薄膜，比如Cu基的，Pd基的、Au基的等等，制备薄膜以后，想把薄膜比较完整地从基片上取下来，请问该采用何种基片或者使用什么方法比较好？还请有经验的大神们多指教。谢谢！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2016-09-11 16:38:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chailiqiang4

金虫 (小有名气)
NaCL

发自小木虫Android客户端
回复此楼
stayhungry,stayfoolish
2楼2016-09-11 16:59:11
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zcqimr

木虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by chailiqiang4 at 2016-09-11 16:59:11
NaCL

能否请您详细说说 采用何种基片 具体该怎么操作
赞一下 回复此楼
3楼2016-09-11 17:21:53
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Gavin6152

金虫 (小有名气)
用NaCl单晶做衬底，NaCl单晶溶于水，膜自然就取下来啦

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
4楼2016-09-11 17:38:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zcqimr

木虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by Gavin6152 at 2016-09-11 17:38:09
用NaCl单晶做衬底，NaCl单晶溶于水，膜自然就取下来啦

请问您是想当然，还是自己做过？您说的这种基片，我看过的文献中从未报道过
赞一下 回复此楼
5楼2016-09-11 19:02:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Gavin6152

金虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by zcqimr at 2016-09-11 19:02:42
请问您是想当然，还是自己做过？您说的这种基片，我看过的文献中从未报道过...

用过好多次了，只是质量好点的单晶有点贵

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
6楼2016-09-11 22:12:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

邬新

金虫 (小有名气)
离子减薄？

发自小木虫Android客户端
回复此楼
7楼2016-09-12 10:34:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zvs1988

铁杆木虫 (著名写手)

BOSS
imr?

发自小木虫Android客户端
回复此楼
何必看破
8楼2016-09-12 23:55:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
只要你的金属不怕碱或者酸的腐蚀，就用硅片。薄膜做好后，用酸或者碱腐蚀也把硅腐蚀干净就行。最好在边上做一个框支撑，否则腐蚀完了会卷一起不好拿。
如果对薄膜的底部的粗糙度没有什么高的要求，就用塑料片或者塑料膜。比如PI膜之类的。膜做好了用溶剂泡掉，或者用plasma干掉有机物。
赞一下 回复此楼
9楼2016-09-14 15:09:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 zcqimr 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭