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想请问一个薄膜图形化的问题

作者 ws4231153
来源: 小木虫 300 6 举报帖子
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我的薄膜没有图形化之前,用万用表测电阻是30~40欧,为什么用光刻之后不管是剥离还是刻蚀做了图形之后就变成100多欧了,这个问题很困扰我,按理说不是应该图形越小电阻也越小吗?文献上图形化之后都是1欧左右,不知道哪里出了问题

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