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想请问一个薄膜图形化的问题
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想请问一个薄膜图形化的问题
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我的薄膜没有图形化之前,用万用表测电阻是30~40欧,为什么用光刻之后不管是剥离还是刻蚀做了图形之后就变成100多欧了,这个问题很困扰我,按理说不是应该图形越小电阻也越小吗?文献上图形化之后都是1欧左右,不知道哪里出了问题
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小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
表面被腐蚀了或者有残留液体到薄膜表面上了
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7楼
2021-06-21 19:50:23
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tzynew
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18362201267
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bjdxyxy
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云在青天
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2021-06-21 16:21
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