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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 想请问一个薄膜图形化的问题
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ws4231153

新虫 (小有名气)
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想请问一个薄膜图形化的问题
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我的薄膜没有图形化之前，用万用表测电阻是30~40欧，为什么用光刻之后不管是剥离还是刻蚀做了图形之后就变成100多欧了，这个问题很困扰我，按理说不是应该图形越小电阻也越小吗？文献上图形化之后都是1欧左右，不知道哪里出了问题

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1楼 2021-06-21 16:13:21
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强哥哥哥

新虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
表面被腐蚀了或者有残留液体到薄膜表面上了

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7楼2021-06-21 19:50:23
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tzynew2楼
2021-06-21 16:13   回复  
ws4231153(金币+1): 谢谢参与
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梦想?丰满3楼
2021-06-21 16:13   回复  
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183622012674楼
2021-06-21 16:16   回复  
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bjdxyxy5楼
2021-06-21 16:16   回复  
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云在青天6楼
2021-06-21 16:21   回复  
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