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求大佬帮忙一下,用pdms倒硅片上面的微结构时,因为交联不完全,pdms很黏去除不掉

作者 十年啊
来源: 小木虫 250 5 举报帖子
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想知道用什么可以去除pdms同时不对硅片造成影响

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  • 精华评论
  • MEMSlee

    PDMS很难去除的,以前也遇到这种情况。你用硫酸和双氧水洗一下

  • sh_wizone

    楼主解决了吗,我这里倒是有相关的清洗剂可以推荐一下,对硅片自身无影响。

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