电子束蒸发镀膜，靶材变黑
我用电子束蒸发镀铌酸锂，靶材为铌酸锂粉末，加电流的时候，靶材变黑，膜厚仪显示正在蒸镀。对变黑的靶材在高温1000度烧结之后，又变回之前的颜色了。请问下靶材为什么会变黑呢
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京公网安备 11010802022153号
氧化物晶体在高温真空加热时，O原子会逸出，在晶体内部形成O空位缺陷，带正电，吸引电子形成色心，可以吸收特定波长的光，宏观显示一定的颜色，铌酸锂就是黑色。在空气中加热后，O原子回去了，就恢复正常了。
基本上是，黑色的居多，我还见过黄色，紫色的
，