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雪夜行路人

铁杆木虫 (著名写手)

[求助] 电子束蒸发镀膜,靶材变黑已有1人参与

我用电子束蒸发镀铌酸锂,靶材为铌酸锂粉末,加电流的时候,靶材变黑,膜厚仪显示正在蒸镀。对变黑的靶材在高温1000度烧结之后,又变回之前的颜色了。请问下靶材为什么会变黑呢
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linshiafeng

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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雪夜行路人: 金币+30, ★★★很有帮助 2021-02-24 16:24:32
氧化物晶体在高温真空加热时,O原子会逸出,在晶体内部形成O空位缺陷,带正电,吸引电子形成色心,可以吸收特定波长的光,宏观显示一定的颜色,铌酸锂就是黑色。在空气中加热后,O原子回去了,就恢复正常了。
2楼2021-02-20 11:23:10
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雪夜行路人

铁杆木虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by linshiafeng at 2021-02-20 11:23:10
氧化物晶体在高温真空加热时,O原子会逸出,在晶体内部形成O空位缺陷,带正电,吸引电子形成色心,可以吸收特定波长的光,宏观显示一定的颜色,铌酸锂就是黑色。在空气中加热后,O原子回去了,就恢复正常了。

那是不是说,所有氧化物靶材在高温下,都会变黑呢

发自小木虫IOS客户端
3楼2021-02-24 16:25:11
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linshiafeng

新虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

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雪夜行路人: 金币+20, ★★★很有帮助 2021-02-25 13:53:09
引用回帖:
3楼: Originally posted by 雪夜行路人 at 2021-02-24 16:25:11
那是不是说,所有氧化物靶材在高温下,都会变黑呢
...

基本上是,黑色的居多,我还见过黄色,紫色的。
4楼2021-02-25 11:06:46
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