椭圆偏振（椭偏）光谱技术仪是一种用于测量薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，椭圆偏振光谱测试技术的测量精度高，适用于各种光学薄膜，金属薄膜，有机薄膜，以及复杂的多层膜，测试中与样品没有接触，是一种快速便捷的无损检测技术。国外主流的椭偏仪包括J A Woollam, Horiba Jobin Yvon, Sentech等，常用数据拟合软件包括CompleteEASE, DeltaPsi2等。

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