椭偏测试薄膜厚度和光学常数分析交流
椭圆偏振（椭偏）光谱技术仪是一种用于测量薄膜厚度、光学常数以及材料微结构的光学测量仪器，椭圆偏振光谱测试技术的测量精度高，适用于各种光学薄膜，金属薄膜，有机薄膜，以及复杂的多层膜，测试中与样品没有接触，是一种快速便捷的无损检测技术。国外主流的椭偏仪包括J A Woollam, Horiba Jobin Yvon, Sentech等，常用数据拟合软件包括CompleteEASE, DeltaPsi2等。
发一个技术交流帖子，感兴趣的朋友可以一起讨论模型分析，数据拟合等相关技术问题。
关键字：椭偏，椭偏测试，椭偏仪，薄膜厚度，光学常数
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京公网安备 11010802022153号
你这边可以做自动扫描mapping吗？ 可以放下多大尺寸的样品？
不能mapping 只能做单点 可以放下直径6寸的样品
，
椭偏拟合洛伦兹振子振幅可以为负吗？
如果是金属是可以为负的，具体看是什么材料
你好，可以测微小尺寸的器件吗