在1pa的溅射气氛下,用直流电源120瓦溅射钒,不能启辉,显示的电压一直在跳动,只有两三毫安的电流,不能启辉,有没有懂磁控的大佬,指点一下,给个解决问题的方向。 返回小木虫查看更多
靶材是绝缘的吧
有可能是溅射气氛低了吗? ,
短路了
排查短路;加气压,加功率
靶材是绝缘的吧
有可能是溅射气氛低了吗?
,
短路了
排查短路;加气压,加功率