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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料其他 » 求助，磁控溅射不能启辉
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999号菜鸟

新虫 (小有名气)

[交流] 求助，磁控溅射不能启辉

在1pa的溅射气氛下，用直流电源120瓦溅射钒，不能启辉，显示的电压一直在跳动，只有两三毫安的电流，不能启辉，有没有懂磁控的大佬，指点一下，给个解决问题的方向。

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1楼 2020-08-01 18:02:23
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北京中晟材料


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2楼2020-08-01 23:41:24
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linshiafeng

新虫 (正式写手)
靶材是绝缘的吧

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3楼2020-08-02 07:58:08
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999号菜鸟

新虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by linshiafeng at 2020-08-02 07:58:08
靶材是绝缘的吧

金属钒，不绝缘

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4楼2020-08-02 09:03:56
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999号菜鸟

新虫 (小有名气)
有可能是溅射气氛低了吗？

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5楼2020-08-02 09:25:27
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liuxing1987

新虫 (著名写手)
短路了

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999号菜鸟
6楼2020-08-02 10:51:29
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999号菜鸟

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
6楼: Originally posted by liuxing1987 at 2020-08-02 10:51:29
短路了

没有电流不应该是断路吗？

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7楼2020-08-02 14:53:13
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yilong1989

木虫 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
排查短路；加气压，加功率

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999号菜鸟
知识越多越好
8楼2020-08-02 15:16:48
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999号菜鸟

新虫 (小有名气)
送红花一朵
引用回帖:
8楼: Originally posted by yilong1989 at 2020-08-02 15:16:48
排查短路；加气压，加功率

谢谢！

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9楼2020-08-02 15:47:03
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