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求助，磁控溅射不能启辉
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在1pa的溅射气氛下，用直流电源120瓦溅射钒，不能启辉，显示的电压一直在跳动，只有两三毫安的电流，不能启辉，有没有懂磁控的大佬，指点一下，给个解决问题的方向。 发自小木虫Android客户端 |
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linshiafeng
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