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【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 999号菜鸟的 50 个金币

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999号菜鸟

新虫 (小有名气)

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[交流] 求助，磁控溅射不能启辉

在1pa的溅射气氛下，用直流电源120瓦溅射钒，不能启辉，显示的电压一直在跳动，只有两三毫安的电流，不能启辉，有没有懂磁控的大佬，指点一下，给个解决问题的方向。

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1楼 2020-08-01 18:02:23

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linshiafeng

新虫 (正式写手)

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靶材是绝缘的吧

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3楼2020-08-02 07:58:08

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北京中晟材料

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2楼2020-08-01 23:41:24

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新虫 (小有名气)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by linshiafeng at 2020-08-02 07:58:08
靶材是绝缘的吧

金属钒，不绝缘

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4楼2020-08-02 09:03:56

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999号菜鸟

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有可能是溅射气氛低了吗？

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5楼2020-08-02 09:25:27

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