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999号菜鸟

新虫 (小有名气)

[交流] 求助,磁控溅射不能启辉

在1pa的溅射气氛下,用直流电源120瓦溅射钒,不能启辉,显示的电压一直在跳动,只有两三毫安的电流,不能启辉,有没有懂磁控的大佬,指点一下,给个解决问题的方向。

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999号菜鸟

新虫 (小有名气)

引用回帖:
3楼: Originally posted by linshiafeng at 2020-08-02 07:58:08
靶材是绝缘的吧

金属钒,不绝缘

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4楼2020-08-02 09:03:56
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2楼2020-08-01 23:41:24
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linshiafeng

新虫 (正式写手)

3楼2020-08-02 07:58:08
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999号菜鸟

新虫 (小有名气)

有可能是溅射气氛低了吗?

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5楼2020-08-02 09:25:27
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