就是昨天，一直用的好好的，结果镀完一片膜后取出来，再镀下一片的时候就抽不到低真空了。我听到嘶嘶的漏气声，大概在闸板阀和分子泵的那条粗管道里，但管道表面应该没有漏气。把预抽阀关闭（此时所有阀门都是关闭的），再关闭机械泵后，腔内气压会快速上升到大气压，说明漏气很严重，但腔体经检查是没有漏的。想问问大家，这种情况最可能的故障原因是什么？如果是闸板阀坏了，那一般什么会导致闸板阀损坏呢？

 返回小木虫查看更多