| 查看: 2959 | 回复: 8 | |||
467091045新虫 (初入文坛)
|
[交流]
磁控溅射仪严重漏气，机械泵只能抽到9000pa，怎么办啊？ 已有5人参与
|
|
就是昨天，一直用的好好的，结果镀完一片膜后取出来，再镀下一片的时候就抽不到低真空了。我听到嘶嘶的漏气声，大概在闸板阀和分子泵的那条粗管道里，但管道表面应该没有漏气。把预抽阀关闭（此时所有阀门都是关闭的），再关闭机械泵后，腔内气压会快速上升到大气压，说明漏气很严重，但腔体经检查是没有漏的。想问问大家，这种情况最可能的故障原因是什么？如果是闸板阀坏了，那一般什么会导致闸板阀损坏呢？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
今天系统多次维护，明天很可能放榜！
已经有5人回复
-
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有74人回复
-
岩土工程学报什么时候才能终审完呐
已经有4人回复
-
时间戳又变了8-15
已经有25人回复
-
2027广东省杰青
已经有6人回复
-
快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。
已经有3人回复
-
哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？
已经有9人回复
-
咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否
已经有26人回复
-
我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人
已经有16人回复
-
有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验）
已经有12人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
2楼2019-05-08 07:45:28
L小懒虫
木虫 (著名写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 10006.5
- 红花: 4
- 帖子: 1883
- 在线: 95.7小时
- 虫号: 7733703
- 注册: 2018-01-06
- 专业: 金属材料的微观结构
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
首先，对于你的描述有两个疑问，1.听到管道有异常声音，怎么检查得出管道没有漏气，2.炉腔保压测试真空降低很快，最终稳定在什么真空度？怎么得出检测得出炉腔又不漏气？ 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2019-05-10 06:52:31
吃瓜群众甲
木虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2188.3
- 散金: 229
- 红花: 49
- 沙发: 29
- 帖子: 3441
- 在线: 557.5小时
- 虫号: 14073665
- 注册: 2019-02-15
4楼2019-05-10 10:39:46
圣埃蒂安M
铜虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 587.2
- 散金: 45
- 帖子: 208
- 在线: 39.8小时
- 虫号: 7945503
- 注册: 2018-02-06
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2019-05-10 14:04:29
467091045
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 14
- 帖子: 15
- 在线: 3.8小时
- 虫号: 14750404
- 注册: 2019-03-28
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
6楼2019-05-10 16:07:40
467091045
新虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 14
- 帖子: 15
- 在线: 3.8小时
- 虫号: 14750404
- 注册: 2019-03-28
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
7楼2019-05-10 16:08:49
L小懒虫
木虫 (著名写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 10006.5
- 红花: 4
- 帖子: 1883
- 在线: 95.7小时
- 虫号: 7733703
- 注册: 2018-01-06
- 专业: 金属材料的微观结构
8楼2019-05-10 17:17:15
巴蒂315
木虫 (职业作家)
- 应助: 31 (小学生)
- 金币: 3877.7
- 散金: 1581
- 红花: 60
- 帖子: 3371
- 在线: 528.7小时
- 虫号: 3128855
- 注册: 2014-04-08
- 性别: GG
- 专业: 无机非金属材料
9楼2019-05-10 18:35:42
25
