| 查看: 2657 | 回复: 8 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
467091045新虫 (初入文坛)
|
[交流]
磁控溅射仪严重漏气，机械泵只能抽到9000pa，怎么办啊？ 已有5人参与
|
||
|
就是昨天，一直用的好好的，结果镀完一片膜后取出来，再镀下一片的时候就抽不到低真空了。我听到嘶嘶的漏气声，大概在闸板阀和分子泵的那条粗管道里，但管道表面应该没有漏气。把预抽阀关闭（此时所有阀门都是关闭的），再关闭机械泵后，腔内气压会快速上升到大气压，说明漏气很严重，但腔体经检查是没有漏的。想问问大家，这种情况最可能的故障原因是什么？如果是闸板阀坏了，那一般什么会导致闸板阀损坏呢？ 发自小木虫Android客户端 |
回复此楼» 猜你喜欢
一志愿西南交大，材料专硕317求调剂
已经有5人回复
-
304求调剂
已经有7人回复
-
0703化学一志愿211 总分320求调剂
已经有5人回复
-
四川大学085601材料工程专硕 初试294求调剂
已经有4人回复
-
工科，求调剂
已经有3人回复
-
333求调剂
已经有3人回复
-
（081700）化学工程与技术-298分求调剂
已经有35人回复
-
308 085701 四六级已过求调剂
已经有13人回复
-
315求调剂
已经有10人回复
-
学硕285求调剂
已经有45人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
圣埃蒂安M
铜虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 587.2
- 散金: 45
- 帖子: 208
- 在线: 39.8小时
- 虫号: 7945503
- 注册: 2018-02-06
- 专业: 无机非金属类光电信息与功
5楼2019-05-10 14:04:29
2楼2019-05-08 07:45:28
L小懒虫
木虫 (著名写手)
- 应助: 6 (幼儿园)
- 金币: 9981.5
- 红花: 4
- 帖子: 1878
- 在线: 95.7小时
- 虫号: 7733703
- 注册: 2018-01-06
- 专业: 金属材料的微观结构
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
|
首先，对于你的描述有两个疑问，1.听到管道有异常声音，怎么检查得出管道没有漏气，2.炉腔保压测试真空降低很快，最终稳定在什么真空度？怎么得出检测得出炉腔又不漏气？ 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2019-05-10 06:52:31
吃瓜群众甲
木虫 (职业作家)
- 应助: 8 (幼儿园)
- 金币: 2188.3
- 散金: 229
- 红花: 49
- 沙发: 29
- 帖子: 3441
- 在线: 557.5小时
- 虫号: 14073665
- 注册: 2019-02-15
4楼2019-05-10 10:39:46
