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467091045新虫 (初入文坛)
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[交流]
磁控溅射仪严重漏气，机械泵只能抽到9000pa，怎么办啊？已有5人参与
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就是昨天，一直用的好好的，结果镀完一片膜后取出来，再镀下一片的时候就抽不到低真空了。我听到嘶嘶的漏气声，大概在闸板阀和分子泵的那条粗管道里，但管道表面应该没有漏气。把预抽阀关闭（此时所有阀门都是关闭的），再关闭机械泵后，腔内气压会快速上升到大气压，说明漏气很严重，但腔体经检查是没有漏的。想问问大家，这种情况最可能的故障原因是什么？如果是闸板阀坏了，那一般什么会导致闸板阀损坏呢？ 发自小木虫Android客户端 |
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L小懒虫
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首先，对于你的描述有两个疑问，1.听到管道有异常声音，怎么检查得出管道没有漏气，2.炉腔保压测试真空降低很快，最终稳定在什么真空度？怎么得出检测得出炉腔又不漏气？ 发自小木虫IOS客户端 |
3楼2019-05-10 06:52:31
圣埃蒂安M
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5楼2019-05-10 14:04:29