关于TEM和SEM的EDX的区别，你的说法应该是没问题的，一个是体相的，一个是表面的。
要看元素的价态可能不行，用XPS比较好
对EDX了解不是很多，就说到这里了，

TEM中EDX表征一个元素出现多峰对应于它的原子核外层
铜网中的碳与石墨应该是在一样的峰位的，lz是想从TEM中分辨石墨吗？

1. TEM中的EDS和SEM-EDS的探测深度的确不同，不过不能区分是体相还是表面，因为TEM的样品很薄，电子束是透过的，那么所选区域的原子都包含进去了，SEM虽然得到的二次电子只是表层5－10nm的信息，但EDS的信号可以来自于样品体相几个立方微米的信息。
2. EDS的分辨率相对于XPS和EELS很低，一般在125 eV，这个分辨率是无法分辨元素价态的（价电子的能量差别很多在0.1－0.2 eV）。至于元素有多个峰，这是跟EDS的原理里面，涉及到多个电子层的跃迁，L－K，M－K，M－L等等，就产生了多条特征谱线，

TEM-EDX  mainly focus on the point or the pot, while SEM-EDX mainly focuses on the surface area. Normally, it can provide more exactly information than TEM-EDX. It also can provide more exact composition analysis than TEM-EDX