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JluChem铁杆木虫 (职业作家)
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[交流]
【求助】请问关于EDS（EDX）表征 已有4人参与
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做TEM时顺便做的EDX，得到的是不是体相的元素组成？（区别于SEM的EDX） 同一元素在不同位置出现是不是代表电子所处原子核外层（K L M）不同？ 铜网上的碳支持膜和样品中的C（石墨）元素是不是出现的峰位不一样？ 谢谢 |
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charley86577
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temedx
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mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-04-13 18:20
mhwu514(金币+1):谢谢讨论 2010-04-13 18:20
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1. TEM中的EDS和SEM-EDS的探测深度的确不同，不过不能区分是体相还是表面，因为TEM的样品很薄，电子束是透过的，那么所选区域的原子都包含进去了，SEM虽然得到的二次电子只是表层5－10nm的信息，但EDS的信号可以来自于样品体相几个立方微米的信息。 2. EDS的分辨率相对于XPS和EELS很低，一般在125 eV，这个分辨率是无法分辨元素价态的（价电子的能量差别很多在0.1－0.2 eV）。至于元素有多个峰，这是跟EDS的原理里面，涉及到多个电子层的跃迁，L－K，M－K，M－L等等，就产生了多条特征谱线。 |
4楼2010-04-13 17:53:05
americanyk
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5楼2010-04-13 19:01:07