小虫利用磁控溅射设备生长薄膜，仪器上有自偏压一项，请问自偏压是怎么回事，用来测量什么的，那些因素会对自偏压造成什么样的影响？ 返回小木虫查看更多
我也是溅射镀膜的，只是在用啊，没有注意过这个细节
自偏压与RF的功率，频率以及Chamber的压强都有关系，电子的速度远大于离子的速度，导致电子在电极积累，使电极电势降低的结果。自偏压的大小可能会影响薄膜性质。仔细研究下吧，
自偏压是由于部分电子沉积到基片上，从而与靶材极形成的负向电压。
我也是做磁控溅射的,我们的自偏压可以直接读出来,我们做实验的时候只是调的它越小越好
Self bias voltage depends on the pressure, power, and so on. For a given deposition condition, you can not control it manually.
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我也是溅射镀膜的，只是在用啊，没有注意过这个细节
自偏压与RF的功率，频率以及Chamber的压强都有关系，电子的速度远大于离子的速度，导致电子在电极积累，使电极电势降低的结果。自偏压的大小可能会影响薄膜性质。仔细研究下吧，
自偏压是由于部分电子沉积到基片上，从而与靶材极形成的负向电压。
我也是做磁控溅射的,我们的自偏压可以直接读出来,我们做实验的时候只是调的它越小越好
Self bias voltage depends on the pressure, power, and so on. For a given deposition condition, you can not control it manually.