应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】自偏压是怎么回事？
131/2返回列表12下一页
查看: 1673  |  回复: 12
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前主题已经存档。

yuh1984

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】自偏压是怎么回事？

小虫利用磁控溅射设备生长薄膜，仪器上有自偏压一项，请问自偏压是怎么回事，用来测量什么的，那些因素会对自偏压造成什么样的影响？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2009-07-07 13:31:07
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
元小雪(金币+3,VIP+0):谢谢你的交流。。。。。。 7-7 20:00
yuh1984(金币+4,VIP+0):3q！！！ 7-8 11:57
在薄膜沉积和离子束刻蚀技术中，通常要给绝缘基片加上一个射频或脉冲电极，以便在绝缘基片上形成一个自偏压来控制轰击到绝缘基片表面的离子能量。
赞一下(12人) 回复此楼
2楼2009-07-07 19:28:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

六198

金虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
yuh1984(金币+2,VIP+0):3q！！！ 7-8 11:57
zt970831(金币+2):感谢您的交流
由于绝缘基片上的自偏压不便于测量,在研究中,大多采用射频电极上的偏压来代替绝缘基片表面的实际自偏压.
赞一下(2人) 回复此楼
穷理求真真贯纵横皆入咏致知格物物含妙理总堪寻
3楼2009-07-08 08:05:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coldcity

木虫 (正式写手)
★ ★
zt970831(金币+2):感谢您的交流
自偏压的形成是在RF电场中，电子的速度大大大于离子的速度，导致电子在电极积累，使电极电势低于plasma的电势。
赞一下(1人) 回复此楼
4楼2009-07-08 17:54:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coldcity

木虫 (正式写手)
★ ★
yuh1984(金币+2,VIP+0):3q!!!请问在具体的实验中，自偏压起的作用大吗？需要很关注吗？ 7-8 18:01
自偏压与RF的功率，频率以及Chamber的压强都有关系。
赞一下(1人) 回复此楼
5楼2009-07-08 17:55:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coldcity

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★
yuh1984(金币+1,VIP+0):3q！！！阅读文献时发现很多实验根本没有提到自偏压这件事。 7-9 22:42
zt970831(金币+4,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:24
离子轰击与自偏压有着密切的关系。我不知道你的实验是什么内容，一般来说，在薄膜沉积的过程中，自偏压的大小可能会影响薄膜的应力，具体的你可以查一些文献。除此外，一般薄膜沉积的过程中，不太考虑自偏压。刻蚀的过程，自偏压倒是比较重要的参数。
赞一下(20人) 回复此楼
6楼2009-07-08 19:42:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

美丽人生8257

金虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
yuh1984(金币+1,VIP+0):3Q！ 7-9 22:43
zt970831(金币+3):感谢您的交流
在等离子体中，放入其中的金属上会产生壳层，这样离子和电子向金属运动，因为电子的速度始终比离子的速度快，这样在金属的表面电子老是比离子多，就产生里带负电的自偏压。
赞一下(1人) 回复此楼
7楼2009-07-08 20:38:52
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

过客6688

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+1):感谢您的交流
自偏压和气体 气压 及溅射功率和反溅射功率有关
赞一下(2人) 回复此楼
8楼2009-07-11 08:22:16
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

deskmade

铁杆木虫 (正式写手)

达人
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也是溅射镀膜的，只是在用啊，没有注意过这个细节
赞一下(1人) 回复此楼
天高任鸟飞海阔凭鱼跃
9楼2009-07-11 10:50:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sun-boymlh

铜虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+3):感谢您的交流
自偏压与RF的功率，频率以及Chamber的压强都有关系，电子的速度远大于离子的速度，导致电子在电极积累，使电极电势降低的结果。自偏压的大小可能会影响薄膜性质。仔细研究下吧
赞一下(2人) 回复此楼
http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
10楼2009-07-11 11:12:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 yuh1984 的主题更新
131/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 论文撤稿了 +4 bjvtcliu 2026-05-24 7/350 2026-05-24 17:29 by bjvtcliu
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 hvkbtfonbv 2026-05-23 4/200 2026-05-24 17:21 by 75ui6h7z2t
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hvkbtfonbv 2026-05-23 3/150 2026-05-24 17:10 by 75ui6h7z2t
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 hvkbtfonbv 2026-05-23 3/150 2026-05-24 17:01 by 75ui6h7z2t
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 5/250 2026-05-24 16:21 by hhx1yx9evi
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 a2tycdlnq1 2026-05-23 4/200 2026-05-24 16:16 by hhx1yx9evi
[基金申请] 河北省自然科学基金 +6 Peterchao 2026-05-18 9/450 2026-05-24 16:02 by 130067131
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.5.5.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +4 pmo95bazuy 2026-05-23 8/400 2026-05-24 15:56 by 1uy1ht2y9r
[基金申请] 西安交大新媒学院副院长用撤稿论文结题 +3 bjvtcliu 2026-05-24 5/250 2026-05-24 10:16 by kudofaye
[教师之家] 某211大学教师把个人教师官方主页改成:我跑了我跑了我跑了!官宣跑路！ +4 zju2000 2026-05-21 5/250 2026-05-24 09:35 by songwz
[基金申请] 青B发送上会通知了吗 +5 chemBioBro 2026-05-22 7/350 2026-05-23 12:35 by zhuifengzhy
[考博] 博士申请 +3 焦晓明 2026-05-21 3/150 2026-05-23 11:26 by mlc840311
[论文投稿] 投稿求助，期刊 +4 希冀，有书读 2026-05-20 8/400 2026-05-22 10:16 by 希冀，有书读
[文学芳草园] 献血感触 +7 呀呀好傻 2026-05-19 13/650 2026-05-21 20:15 by 呀呀好傻
[基金申请] 国自然评分 +4 无名者登山 2026-05-20 5/250 2026-05-21 16:35 by swuq
[基金申请] 国自然上会要求 +7 无名者登山 2026-05-18 11/550 2026-05-21 15:50 by draco1987
[基金申请] 提交了我也来说说感想 +9 fummck 2026-05-20 10/500 2026-05-21 14:17 by draco1987
[有机交流] 反应很差，大量原料没有反应 5+3 Mr.Zot 2026-05-19 8/400 2026-05-20 22:19 by Equinoxhua
[考博] 如果工作了想读博，可以边工作边读全日制嘛？ 30+3 铁达火车 2026-05-18 5/250 2026-05-20 09:33 by tfang
[考博] 博士申请 +5 星…… 2026-05-18 6/300 2026-05-18 23:49 by 糊糊涂涂好
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭