24小时热门版块排行榜    

查看: 1825  |  回复: 12
当前主题已经存档。
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

yuh1984

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】自偏压是怎么回事?

小虫利用磁控溅射设备生长薄膜,仪器上有自偏压一项,请问自偏压是怎么回事,用来测量什么的,那些因素会对自偏压造成什么样的影响?
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coldcity

木虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★ ★
yuh1984(金币+1,VIP+0):3q!!!阅读文献时发现很多实验根本没有提到自偏压这件事。 7-9 22:42
zt970831(金币+4,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:24
离子轰击与自偏压有着密切的关系。我不知道你的实验是什么内容,一般来说,在薄膜沉积的过程中,自偏压的大小可能会影响薄膜的应力,具体的你可以查一些文献。除此外,一般薄膜沉积的过程中,不太考虑自偏压。刻蚀的过程,自偏压倒是比较重要的参数。
6楼2009-07-08 19:42:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 13 个回答

userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
元小雪(金币+3,VIP+0):谢谢你的交流。。。。。。 7-7 20:00
yuh1984(金币+4,VIP+0):3q!!! 7-8 11:57
在薄膜沉积和离子束刻蚀技术中,通常要给绝缘基片加上一个射频或脉冲电极,以便在绝缘基片上形成一个自偏压来控制轰击到绝缘基片表面的离子能量。
2楼2009-07-07 19:28:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

六198

金虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
yuh1984(金币+2,VIP+0):3q!!! 7-8 11:57
zt970831(金币+2):感谢您的交流
由于绝缘基片上的自偏压不便于测量,在研究中,大多采用射频电极上的偏压来代替绝缘基片表面的实际自偏压.
穷理求真真贯纵横皆入咏致知格物物含妙理总堪寻
3楼2009-07-08 08:05:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

coldcity

木虫 (正式写手)

★ ★
zt970831(金币+2):感谢您的交流
自偏压的形成是在RF电场中,电子的速度大大大于离子的速度,导致电子在电极积累,使电极电势低于plasma的电势。
4楼2009-07-08 17:54:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +21 koalala 2026-08-24 24/1200 2026-08-24 19:25 by 家与远方
[基金申请] 号外号外 +8 GZUZM 2026-08-24 8/400 2026-08-24 19:22 by 家与远方
[基金申请] 人气不行了 +9 fansofjerry 2026-08-21 9/450 2026-08-24 17:48 by zhaozhengxin
[基金申请] 如果此刻你正在为国基感到焦虑,不妨来听听这首《基金之外》 +5 scalable 2026-08-24 5/250 2026-08-24 17:03 by spiderzhuzhi
[基金申请] 估计是周四 +4 archvillain 2026-08-18 4/200 2026-08-24 13:53 by zzuzxg
[基金申请] 我面上完蛋了 +8 且听虎啸 2026-08-20 9/450 2026-08-24 13:52 by zzuzxg
[基金申请] 范进中举一文的中心思想 +6 炎黄贵胄 2026-08-22 7/350 2026-08-24 11:58 by 6543yes
[基金申请] 朋友圈看到的 +7 wangzilk 2026-08-18 9/450 2026-08-24 10:50 by cmrandy
[基金申请] 让我中一个面上吧! +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[基金申请] 放榜前的不淡定 20+4 snowwithsea 2026-08-19 17/850 2026-08-24 10:20 by echo8914667
[基金申请] 明天应该可查了!? +4 chengyan1220 2026-08-23 4/200 2026-08-24 08:47 by gloomy6159
[基金申请] 什么时候开奖? +10 CrisMessi 2026-08-18 11/550 2026-08-24 06:50 by 开心的小狮子
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +4 process2012 2026-08-23 5/250 2026-08-23 19:58 by jurkat.1640
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办? +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 时间戳今天,20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 看来今天不会放榜了? +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] 明天放榜? +5 Shxjjxjkx 2026-08-18 5/250 2026-08-18 18:14 by -大大大大大-
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
信息提示
请填处理意见