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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】自偏压是怎么回事？
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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yuh1984

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】自偏压是怎么回事？

小虫利用磁控溅射设备生长薄膜，仪器上有自偏压一项，请问自偏压是怎么回事，用来测量什么的，那些因素会对自偏压造成什么样的影响？
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1楼 2009-07-07 13:31:07
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userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
元小雪(金币+3,VIP+0):谢谢你的交流。。。。。。 7-7 20:00
yuh1984(金币+4,VIP+0):3q！！！ 7-8 11:57
在薄膜沉积和离子束刻蚀技术中，通常要给绝缘基片加上一个射频或脉冲电极，以便在绝缘基片上形成一个自偏压来控制轰击到绝缘基片表面的离子能量。
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2楼2009-07-07 19:28:15
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六198

金虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
yuh1984(金币+2,VIP+0):3q！！！ 7-8 11:57
zt970831(金币+2):感谢您的交流
由于绝缘基片上的自偏压不便于测量,在研究中,大多采用射频电极上的偏压来代替绝缘基片表面的实际自偏压.
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穷理求真真贯纵横皆入咏致知格物物含妙理总堪寻
3楼2009-07-08 08:05:12
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coldcity

木虫 (正式写手)
★ ★
zt970831(金币+2):感谢您的交流
自偏压的形成是在RF电场中，电子的速度大大大于离子的速度，导致电子在电极积累，使电极电势低于plasma的电势。
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4楼2009-07-08 17:54:14
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coldcity

木虫 (正式写手)
★ ★
yuh1984(金币+2,VIP+0):3q!!!请问在具体的实验中，自偏压起的作用大吗？需要很关注吗？ 7-8 18:01
自偏压与RF的功率，频率以及Chamber的压强都有关系。
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5楼2009-07-08 17:55:42
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coldcity

木虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★ ★
yuh1984(金币+1,VIP+0):3q！！！阅读文献时发现很多实验根本没有提到自偏压这件事。 7-9 22:42
zt970831(金币+4,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:24
离子轰击与自偏压有着密切的关系。我不知道你的实验是什么内容，一般来说，在薄膜沉积的过程中，自偏压的大小可能会影响薄膜的应力，具体的你可以查一些文献。除此外，一般薄膜沉积的过程中，不太考虑自偏压。刻蚀的过程，自偏压倒是比较重要的参数。
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6楼2009-07-08 19:42:08
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美丽人生8257

金虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
yuh1984(金币+1,VIP+0):3Q！ 7-9 22:43
zt970831(金币+3):感谢您的交流
在等离子体中，放入其中的金属上会产生壳层，这样离子和电子向金属运动，因为电子的速度始终比离子的速度快，这样在金属的表面电子老是比离子多，就产生里带负电的自偏压。
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7楼2009-07-08 20:38:52
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过客6688

金虫 (小有名气)
★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+1):感谢您的交流
自偏压和气体 气压 及溅射功率和反溅射功率有关
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8楼2009-07-11 08:22:16
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deskmade

铁杆木虫 (正式写手)

达人
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也是溅射镀膜的，只是在用啊，没有注意过这个细节
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天高任鸟飞海阔凭鱼跃
9楼2009-07-11 10:50:23
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+3):感谢您的交流
自偏压与RF的功率，频率以及Chamber的压强都有关系，电子的速度远大于离子的速度，导致电子在电极积累，使电极电势降低的结果。自偏压的大小可能会影响薄膜性质。仔细研究下吧
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http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
10楼2009-07-11 11:12:56
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