【求助】自偏压是怎么回事？ - 功能材料 - 基础研究 - 第2页小木虫论坛-学术科研互动平台

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铁虫 (初入文坛)

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zt970831(金币+2,VIP+0):感谢您的交流 7-13 23:23

自偏压是由于部分电子沉积到基片上，从而与靶材极形成的负向电压。

11楼2009-07-13 10:05:27

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木虫 (著名写手)

我也是做磁控溅射的,我们的自偏压可以直接读出来,我们做实验的时候只是调的它越小越好

12楼2009-07-13 10:08:25

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金虫 (小有名气)

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小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流

Self bias voltage depends on the pressure, power, and so on. For a given deposition condition, you can not control it manually.

13楼2009-08-06 23:07:16

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