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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 基础研究 » 【求助】自偏压是怎么回事？
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yuh1984

木虫 (著名写手)

[交流] 【求助】自偏压是怎么回事？

小虫利用磁控溅射设备生长薄膜，仪器上有自偏压一项，请问自偏压是怎么回事，用来测量什么的，那些因素会对自偏压造成什么样的影响？
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1楼 2009-07-07 13:31:07
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deskmade

铁杆木虫 (正式写手)

达人
★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
我也是溅射镀膜的，只是在用啊，没有注意过这个细节
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天高任鸟飞海阔凭鱼跃
9楼2009-07-11 10:50:23
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userhung

禁虫 (文学泰斗)

木虫博士
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
元小雪(金币+3,VIP+0):谢谢你的交流。。。。。。 7-7 20:00
yuh1984(金币+4,VIP+0):3q！！！ 7-8 11:57
在薄膜沉积和离子束刻蚀技术中，通常要给绝缘基片加上一个射频或脉冲电极，以便在绝缘基片上形成一个自偏压来控制轰击到绝缘基片表面的离子能量。
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2楼2009-07-07 19:28:15
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六198

金虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
yuh1984(金币+2,VIP+0):3q！！！ 7-8 11:57
zt970831(金币+2):感谢您的交流
由于绝缘基片上的自偏压不便于测量,在研究中,大多采用射频电极上的偏压来代替绝缘基片表面的实际自偏压.
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穷理求真真贯纵横皆入咏致知格物物含妙理总堪寻
3楼2009-07-08 08:05:12
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coldcity

木虫 (正式写手)
★ ★
zt970831(金币+2):感谢您的交流
自偏压的形成是在RF电场中，电子的速度大大大于离子的速度，导致电子在电极积累，使电极电势低于plasma的电势。
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4楼2009-07-08 17:54:14
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