路过学习咯

XPS准确,价格较高,EDX结果变化大,不是很准确,且价格较便宜!

学习了，谢谢

XPS 一样多少钱得

XpS贵

没有谁更好的问题。
各自都有擅长的领域，只要实验条件满足了，都可以得到很好的结果。

XPS是更准确的，EDS是SEM 的附件，属于微区元素分析，但EDS可以做面分布，根据需要选择吧

两者都是用单色的X射线照射样品，不同的是XPS主要检测光致电离产生的光电子，而只有深度很浅范围内产生的光电子才能逸出表面，经能量分析仪分析光电子的动能，根据测得的光电子的动能和某种动能光电子的数量，定性定量分析样品存在的元素和数量。而EDX主要是检测样品被X射线照射后产生的特征X射线，通过液氮冷却的半导体探测器（高分辨）或正比计数器或闪烁计数器（低分辨）检测特征X射线的频率和强度，进而分析样品的元素和元素含量。
因此两者的区别在于：1、检测范围差别：XPS表层5-10nm，EDX样品表面100-1000nm深度；2、XPS精度高、EDX精度一般，