你去GOOGLE一下，不久完事啦！

XPS是测量样品表层信息，而且可以拟合得到化合物元素组分比。而EDX是SEM带的波谱仪附件，也是测量样品元素组分的，是每个区域的平均值。感觉XPS比后者获得信息更多一下，而且XPS可以进行薄膜样品深度分析，后者好像不行吧。更多的信息可以看看相关书籍和文献

[ Last edited by whzg on 2009-6-25 at 13:28 ]，

XPS会比EDX全面一些。EDX只能测出表面元素的相对含量，而XPS还可以得到同个元素不同价态的比例。

XPS测试和分析更精确些，如果你以前没有做过，最好找个专业的老师咨询一下，那个标定很需要技巧的，EDX做些定性分析方面的，看元素分布或者物质含量还可以。

EDS只能半定量分析，能知道可能的元素组成和大致的分别（如线扫或面扫），一般它的分析深度在微米量级；XPS主要是表面分析，能为准确，能定量分析和大致确定表面成分，它的分析深度在纳米量级。

XPS主要是表面分析，能为准确，能定量分析和大致确定表面成分，它的分析深度在纳米量级，EDX测量的是大概的

XPS精确，EDS只是附件，而且原子序数差别越大，越不准确