是啊 太多因素了  很多不是单调的  不过很多的沉积条件的窗口不是那么窄吧

是的啊 不过主要还是压强 温度 和功率最主要。
其中最主要的还是温度和压强。

参考下薄膜生长吧会对你有帮助

磁控溅射的影响因素是很多的，给你推荐个资料下载看看吧：http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=436287&view=old，

很好 啊 学习了

三维网上《真空材料》、《磁控溅射技术》两本书很好可惜没有权限看！
那位任兄有请发起共享！

想必楼主是刚入门啊，多看看薄膜方面的书，还有溅射方面的

谁有磁控溅射方面的书，分享一下，谢谢