24小时热门版块排行榜

返回列表

当前主题已经存档。

【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 yuh1984 的 3 个金币

yuh1984

木虫 (著名写手)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 3894.1
散金: 480
帖子: 1042
在线: 141.8小时
虫号: 642991
注册: 2008-11-01
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构

[交流] 【求助】磁控溅射镀膜的影响因素！

请教大虾关于磁控溅射镀膜的影响因素！例如：生长功率，生长压强，本体压强，靶基距。究竟这些通过影响什么来影响薄膜生长的。还有就是靶材材料究竟是以何种形式打到薄膜上的，是原子还是离子团还是材料不同结果不一样。
我在百度查过，但是感觉不是很详细。
请大虾们以亲身实验告诉小弟，或者给点资料也行。

回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

铁电材料

薄膜材料的表征

薄膜材料和器件制备

» 猜你喜欢

孩子确诊有中度注意力缺陷已经有9人回复
2025冷门绝学什么时候出结果已经有3人回复
天津工业大学郑柳春团队欢迎化学化工、高分子化学或有机合成方向的博士生和硕士生加入已经有4人回复
康复大学泰山学者周祺惠团队招收博士研究生已经有6人回复
AI论文写作工具：是科研加速器还是学术作弊器？已经有3人回复
2026博士申请-功能高分子，水凝胶方向已经有6人回复
论文投稿，期刊推荐已经有4人回复
硕士和导师闹得不愉快已经有13人回复
请问2026国家基金面上项目会启动申2停1吗已经有5人回复
同一篇文章，用不同账号投稿对编辑决定是否送审有没有影响？已经有3人回复

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

1楼2009-04-16 22:52:13

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

ufoer

荣誉版主 (著名写手)

PNNL- new life

应助: 0 (幼儿园)
贵宾: 1.76
金币: 1202.8
散金: 5824
红花: 8
帖子: 2039
在线: 53.6小时
虫号: 520591
注册: 2008-03-07
性别: GG
专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
管辖: 无机非金属

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流 4-16 23:15
yuh1984(金币+5,VIP+0):非常感谢！ 4-17 08:26

这个影响很大了。溅射功率、溅射气压、靶基距和背地真空度基本上都是通过改变沉积速率来影响薄膜的结构，进而影响性能的。

简单来说，溅射气压对沉积速率的影响是非单调的，即存在着一个极大值。气压过大（散射多）或过小（电离少）都会造成沉积速率的下降。而溅射功率、靶基距和背地真空度的影响则是单调的。即功率越大、靶基距越小、背地真空度越高，则速率越大。

但沉积速率对薄膜的结构和性能的影响则也是非单调的。过慢（疏松）或过快（缺陷）都会使薄膜的结构变差，进而影响性能。

所以，做磁控溅射，一定要做大量的实验，从而找出最佳的沉积条件。