| 查看: 2336 | 回复: 17 | ||||||
| 当前主题已经存档。 | ||||||
| 【有奖交流】积极回复本帖子，参与交流，就有机会分得作者 yuh1984 的 3 个金币 | ||||||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | ||||||
yuh1984木虫 (著名写手)
|
[交流]
【求助】磁控溅射镀膜的影响因素！
|
|||||
|
请教大虾关于磁控溅射镀膜的影响因素！例如：生长功率，生长压强，本体压强，靶基距。究竟这些通过影响什么来影响薄膜生长的。还有就是靶材材料究竟是以何种形式打到薄膜上的，是原子还是离子团还是材料不同结果不一样。 我在百度查过，但是感觉不是很详细。 请大虾们以亲身实验告诉小弟，或者给点资料也行。 |
回复此楼» 收录本帖的淘帖专辑推荐
 铁电材料 | 薄膜材料的表征 | 薄膜材料和器件制备 |
» 猜你喜欢
今天系统多次维护，明天很可能放榜！
已经有5人回复
-
欢迎发来filecode的Mz6后的代码验证其规律
已经有74人回复
-
岩土工程学报什么时候才能终审完呐
已经有4人回复
-
时间戳又变了8-15
已经有25人回复
-
2027广东省杰青
已经有6人回复
-
快农历七夕节了，轻松一下，男人悄悄话，女施主请不要进来。
已经有3人回复
-
哪位老哥知道今年的国自然具体哪一天放榜？
已经有9人回复
-
咱们一起用铁证分析2026国家社科基金中标与否
已经有26人回复
-
我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人
已经有16人回复
-
有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验）
已经有12人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
zdliang83
木虫 (小有名气)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 2127.5
- 帖子: 258
- 在线: 2.2小时
- 虫号: 783818
- 注册: 2009-05-31
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
10楼2009-07-28 09:29:11
ufoer
荣誉版主 (著名写手)
PNNL- new life
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 1.76
- 金币: 1202.8
- 散金: 5824
- 红花: 8
- 帖子: 2045
- 在线: 53.7小时
- 虫号: 520591
- 注册: 2008-03-07
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
- 管辖: 无机非金属
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流 4-16 23:15
yuh1984(金币+5,VIP+0):非常感谢！ 4-17 08:26
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流 4-16 23:15
yuh1984(金币+5,VIP+0):非常感谢！ 4-17 08:26
|
这个影响很大了。溅射功率、溅射气压、靶基距和背地真空度基本上都是通过改变沉积速率来影响薄膜的结构，进而影响性能的。 简单来说，溅射气压对沉积速率的影响是非单调的，即存在着一个极大值。气压过大（散射多）或过小（电离少）都会造成沉积速率的下降。而溅射功率、靶基距和背地真空度的影响则是单调的。即功率越大、靶基距越小、背地真空度越高，则速率越大。 但沉积速率对薄膜的结构和性能的影响则也是非单调的。过慢（疏松）或过快（缺陷）都会使薄膜的结构变差，进而影响性能。 所以，做磁控溅射，一定要做大量的实验，从而找出最佳的沉积条件。  |
2楼2009-04-16 23:09:59
ufoer
荣誉版主 (著名写手)
PNNL- new life
- 应助: 0 (幼儿园)
- 贵宾: 1.76
- 金币: 1202.8
- 散金: 5824
- 红花: 8
- 帖子: 2045
- 在线: 53.7小时
- 虫号: 520591
- 注册: 2008-03-07
- 性别: GG
- 专业: 凝聚态物性 II ：电子结构
- 管辖: 无机非金属
3楼2009-04-16 23:13:03
4楼2009-04-17 00:42:40
25