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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 磁控溅射的靶已经刻蚀出了深沟，还能用吗？
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智啪

铁虫 (初入文坛)

[交流] 磁控溅射的靶已经刻蚀出了深沟，还能用吗？ 已有5人参与

一块靶已经用了一年，沟很明显了，是一个完整的圆。靶还能用吗？对实验有影响吗？
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1楼 2015-02-25 21:20:17
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer
★
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检查一下沟槽尺寸，确信不会发生穿透。再检查一下纯度和晶粒度。

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3楼2015-02-26 18:02:12
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wbcui

至尊木虫 (知名作家)
★
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只要没有被打穿，基本就能用
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2楼2015-02-26 01:12:49
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fh6675

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
只要靶材没有打通的话，都是可以用的。如果靶材价格较贵的话，可以试着用。靶材便宜的话，可以换一块新的。
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4楼2015-03-01 11:55:58
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perry_ping

新虫 (著名写手)
★
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可以看看背面，能看出是否快穿了。快了就别用了

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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5楼2015-03-11 16:24:25
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