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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料物理 » 光刻剥离问题
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weichuandu

新虫 (小有名气)

[交流] 光刻剥离问题 已有1人参与

在石英基板上利用光刻显影后留下了图形，再经过电子束镀金属氧化物薄膜，厚度约2.5微米，利用丙酮剥离时剥离不够彻底，各位大神有没有好的方法呢？
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1楼 2014-11-14 22:00:17
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whywhy01

金虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
不怕脱落的话稍微超声一下
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2楼2014-11-15 10:41:11
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weichuandu

新虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by whywhy01 at 2014-11-15 10:41:11
不怕脱落的话稍微超声一下

我已经超过了，还是无法清除干净，是不是温度过高，时间过长，有没有耐高温的胶呢

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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3楼2014-11-15 21:19:28
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