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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？ 已有3人参与

如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？

如图所示.

1.这根导线由两种材料（镍铬—铜镍）金属连接而成。
2.导线宽度大约在30微米宽。
这样的一个玩意儿该如何做呢？

————————————————————————————
我的思路：
  第一步：在二氧化硅上涂一层光刻胶
  第二步：用掩膜板对光刻胶进行曝光，在光刻胶上出现一条凹槽
  第三步：然后溅射铜镍，这样铜镍金属就进入凹槽中了。
  第四步：洗掉光刻胶，那么半个导线就做出来了。
  第五步：同样的步骤，在刻好第一个金属线的表面整体再涂一层光刻胶，然后如上步骤.....

  这样可行吗？
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@lee0803 @静静一yi

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1楼 2014-09-04 14:37:01
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-05 02:56:19
我想再问下，这种光刻胶一般使用的是负性光刻胶吧？常用的负胶用哪种比较好？...

正胶和负胶都可以，根据你的掩膜板来的。
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哈哈哈哈，来吧
7楼2014-09-06 05:07:47
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-05 08:54:47
如果是做lift off的话，可以用负胶。但是工艺还是麻烦，建议用正胶的双层胶工艺。
如果线条较长的话，可以先做整个线条，然后用金属片遮一半去做溅射。溅射好第一种金属后，再用金属片遮住另一半坐溅射。两次溅射 ...

这种微米级的工艺用双层胶是不是太浪费了，我做1um的都不需要用双层。我觉得这个就是两次光刻的事情，上下都不需要太对准，对歪一点也没有影响，就是左右，你做第二层的时候多往另外一边靠一靠就好了，真的非常简单的光刻。
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哈哈哈哈，来吧
8楼2014-09-08 12:35:25
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普通回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
就看要求高不高，如果要求不高这么做没啥问题。就是接头部位是否能形成良好的欧姆接触，不好说。
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2楼2014-09-04 17:16:15
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2014-09-04 17:16:15
就看要求高不高，如果要求不高这么做没啥问题。就是接头部位是否能形成良好的欧姆接触，不好说。

我也担心这个，有没有一种工艺可以在叠加的地方打个小洞？然后溅射注入镍铬。

有这样的工艺么？
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3楼2014-09-05 10:38:21
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
ycyzrenlifei: 金币+1, ★★★很有帮助 2014-09-07 20:55:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-04 19:38:21
我也担心这个，有没有一种工艺可以在叠加的地方打个小洞？然后溅射注入镍铬。

有这样的工艺么？...

那你再做一个掩膜板好了，最后再打个洞。
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哈哈哈哈，来吧
4楼2014-09-05 14:26:37
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
4楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-09-05 14:26:37
那你再做一个掩膜板好了，最后再打个洞。...

我想再问下，这种光刻胶一般使用的是负性光刻胶吧？常用的负胶用哪种比较好？
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5楼2014-09-05 17:56:19
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ycyzrenlifei: 金币+4, ★★★★★最佳答案 2014-09-07 20:55:33
引用回帖:
5楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-05 17:56:19
我想再问下，这种光刻胶一般使用的是负性光刻胶吧？常用的负胶用哪种比较好？...

如果是做lift off的话，可以用负胶。但是工艺还是麻烦，建议用正胶的双层胶工艺。
如果线条较长的话，可以先做整个线条，然后用金属片遮一半去做溅射。溅射好第一种金属后，再用金属片遮住另一半坐溅射。两次溅射保证金属之间有交叠就好。金属之间欧姆接触没什么问题。
如果你要控制金属交叠到非常小的尺度，就需要做两次光刻了。
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6楼2014-09-05 23:54:47
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
8楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-09-08 12:35:25
这种微米级的工艺用双层胶是不是太浪费了，我做1um的都不需要用双层。我觉得这个就是两次光刻的事情，上下都不需要太对准，对歪一点也没有影响，就是左右，你做第二层的时候多往另外一边靠一靠就好了，真的非常简单 ...

恩，知道啦
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9楼2014-09-09 14:45:30
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exciting73

金虫 (著名写手)
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
引用回帖:
9楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-09 14:45:30
恩，知道啦...

如果金属膜不厚，找一种正胶就可以了。
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10楼2014-09-11 21:22:00
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