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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」?已有3人参与

如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」?

如图所示.

1.这根导线由两种材料(镍铬—铜镍)金属连接而成。
2.导线宽度大约在30微米宽。
这样的一个玩意儿该如何做呢?

————————————————————————————
我的思路:
  第一步:在二氧化硅上涂一层光刻胶
  第二步:用掩膜板对光刻胶进行曝光,在光刻胶上出现一条凹槽
  第三步:然后溅射铜镍,这样铜镍金属就进入凹槽中了。
  第四步:洗掉光刻胶,那么半个导线就做出来了。
  第五步:同样的步骤,在刻好第一个金属线的表面整体再涂一层光刻胶,然后如上步骤.....

  这样可行吗?
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

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引用回帖:
5楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-05 02:56:19
我想再问下,这种光刻胶一般使用的是负性光刻胶吧?常用的负胶用哪种比较好?...

正胶和负胶都可以,根据你的掩膜板来的。
哈哈哈哈,来吧
7楼2014-09-06 05:07:47
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-05 08:54:47
如果是做lift off的话,可以用负胶。但是工艺还是麻烦,建议用正胶的双层胶工艺。
如果线条较长的话,可以先做整个线条,然后用金属片遮一半去做溅射。溅射好第一种金属后,再用金属片遮住另一半坐溅射。两次溅射 ...

这种微米级的工艺用双层胶是不是太浪费了,我做1um的都不需要用双层。我觉得这个就是两次光刻的事情,上下都不需要太对准,对歪一点也没有影响,就是左右,你做第二层的时候多往另外一边靠一靠就好了,真的非常简单的光刻。
哈哈哈哈,来吧
8楼2014-09-08 12:35:25
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reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
就看要求高不高,如果要求不高这么做没啥问题。就是接头部位是否能形成良好的欧姆接触,不好说。
2楼2014-09-04 17:16:15
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2014-09-04 17:16:15
就看要求高不高,如果要求不高这么做没啥问题。就是接头部位是否能形成良好的欧姆接触,不好说。

我也担心这个,有没有一种工艺可以在叠加的地方打个小洞?然后溅射注入镍铬。

有这样的工艺么?
3楼2014-09-05 10:38:21
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jeremyfrc

木虫 (正式写手)

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感谢参与,应助指数 +1
ycyzrenlifei: 金币+1, ★★★很有帮助 2014-09-07 20:55:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-04 19:38:21
我也担心这个,有没有一种工艺可以在叠加的地方打个小洞?然后溅射注入镍铬。

有这样的工艺么?...

那你再做一个掩膜板好了,最后再打个洞。
哈哈哈哈,来吧
4楼2014-09-05 14:26:37
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

引用回帖:
4楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-09-05 14:26:37
那你再做一个掩膜板好了,最后再打个洞。...

我想再问下,这种光刻胶一般使用的是负性光刻胶吧?常用的负胶用哪种比较好?
5楼2014-09-05 17:56:19
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
ycyzrenlifei: 金币+4, ★★★★★最佳答案 2014-09-07 20:55:33
引用回帖:
5楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-05 17:56:19
我想再问下,这种光刻胶一般使用的是负性光刻胶吧?常用的负胶用哪种比较好?...

如果是做lift off的话,可以用负胶。但是工艺还是麻烦,建议用正胶的双层胶工艺。
如果线条较长的话,可以先做整个线条,然后用金属片遮一半去做溅射。溅射好第一种金属后,再用金属片遮住另一半坐溅射。两次溅射保证金属之间有交叠就好。金属之间欧姆接触没什么问题。
如果你要控制金属交叠到非常小的尺度,就需要做两次光刻了。
6楼2014-09-05 23:54:47
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ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

引用回帖:
8楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-09-08 12:35:25
这种微米级的工艺用双层胶是不是太浪费了,我做1um的都不需要用双层。我觉得这个就是两次光刻的事情,上下都不需要太对准,对歪一点也没有影响,就是左右,你做第二层的时候多往另外一边靠一靠就好了,真的非常简单 ...

恩,知道啦
9楼2014-09-09 14:45:30
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exciting73

金虫 (著名写手)


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引用回帖:
9楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-09 14:45:30
恩,知道啦...

如果金属膜不厚,找一种正胶就可以了。
10楼2014-09-11 21:22:00
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