应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？
121/2返回列表12下一页
查看: 2342  |  回复: 11
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子

[求助] 如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？ 已有3人参与

如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？

如图所示.

1.这根导线由两种材料（镍铬—铜镍）金属连接而成。
2.导线宽度大约在30微米宽。
这样的一个玩意儿该如何做呢？

————————————————————————————
我的思路：
  第一步：在二氧化硅上涂一层光刻胶
  第二步：用掩膜板对光刻胶进行曝光，在光刻胶上出现一条凹槽
  第三步：然后溅射铜镍，这样铜镍金属就进入凹槽中了。
  第四步：洗掉光刻胶，那么半个导线就做出来了。
  第五步：同样的步骤，在刻好第一个金属线的表面整体再涂一层光刻胶，然后如上步骤.....

  这样可行吗？
回复此楼

» 本帖@通知

@lee0803 @静静一yi

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2014-09-04 14:37:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
5楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-05 02:56:19
我想再问下，这种光刻胶一般使用的是负性光刻胶吧？常用的负胶用哪种比较好？...

正胶和负胶都可以，根据你的掩膜板来的。
赞一下(1人) 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
7楼2014-09-06 05:07:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jeremyfrc

木虫 (正式写手)
引用回帖:
6楼: Originally posted by yswyx at 2014-09-05 08:54:47
如果是做lift off的话，可以用负胶。但是工艺还是麻烦，建议用正胶的双层胶工艺。
如果线条较长的话，可以先做整个线条，然后用金属片遮一半去做溅射。溅射好第一种金属后，再用金属片遮住另一半坐溅射。两次溅射 ...

这种微米级的工艺用双层胶是不是太浪费了，我做1um的都不需要用双层。我觉得这个就是两次光刻的事情，上下都不需要太对准，对歪一点也没有影响，就是左右，你做第二层的时候多往另外一边靠一靠就好了，真的非常简单的光刻。
赞一下(1人) 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
8楼2014-09-08 12:35:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
普通回帖

reninhat

铁杆木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
就看要求高不高，如果要求不高这么做没啥问题。就是接头部位是否能形成良好的欧姆接触，不好说。
赞一下 回复此楼
2楼2014-09-04 17:16:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
2楼: Originally posted by reninhat at 2014-09-04 17:16:15
就看要求高不高，如果要求不高这么做没啥问题。就是接头部位是否能形成良好的欧姆接触，不好说。

我也担心这个，有没有一种工艺可以在叠加的地方打个小洞？然后溅射注入镍铬。

有这样的工艺么？
赞一下 回复此楼
3楼2014-09-05 10:38:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jeremyfrc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
ycyzrenlifei: 金币+1, ★★★很有帮助 2014-09-07 20:55:41
引用回帖:
3楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-04 19:38:21
我也担心这个，有没有一种工艺可以在叠加的地方打个小洞？然后溅射注入镍铬。

有这样的工艺么？...

那你再做一个掩膜板好了，最后再打个洞。
赞一下 回复此楼
哈哈哈哈，来吧
4楼2014-09-05 14:26:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
4楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-09-05 14:26:37
那你再做一个掩膜板好了，最后再打个洞。...

我想再问下，这种光刻胶一般使用的是负性光刻胶吧？常用的负胶用哪种比较好？
赞一下 回复此楼
5楼2014-09-05 17:56:19
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
ycyzrenlifei: 金币+4, ★★★★★最佳答案 2014-09-07 20:55:33
引用回帖:
5楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-05 17:56:19
我想再问下，这种光刻胶一般使用的是负性光刻胶吧？常用的负胶用哪种比较好？...

如果是做lift off的话，可以用负胶。但是工艺还是麻烦，建议用正胶的双层胶工艺。
如果线条较长的话，可以先做整个线条，然后用金属片遮一半去做溅射。溅射好第一种金属后，再用金属片遮住另一半坐溅射。两次溅射保证金属之间有交叠就好。金属之间欧姆接触没什么问题。
如果你要控制金属交叠到非常小的尺度，就需要做两次光刻了。
赞一下 回复此楼
6楼2014-09-05 23:54:47
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ycyzrenlifei

金虫 (小有名气)

南理汉子
引用回帖:
8楼: Originally posted by jeremyfrc at 2014-09-08 12:35:25
这种微米级的工艺用双层胶是不是太浪费了，我做1um的都不需要用双层。我觉得这个就是两次光刻的事情，上下都不需要太对准，对歪一点也没有影响，就是左右，你做第二层的时候多往另外一边靠一靠就好了，真的非常简单 ...

恩，知道啦
回复此楼
9楼2014-09-09 14:45:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
引用回帖:
9楼: Originally posted by ycyzrenlifei at 2014-09-09 14:45:30
恩，知道啦...

如果金属膜不厚，找一种正胶就可以了。
赞一下 回复此楼
10楼2014-09-11 21:22:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 ycyzrenlifei 的主题更新
121/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 一志愿211，化学310分，本科重点双非，求调剂 +17 努力奋斗112 2026-04-08 17/850 2026-04-10 12:17 by pengliang8036
[考研] 08工学 309分求调剂 +6 Yin DY 2026-04-08 6/300 2026-04-10 09:18 by Delta2012
[考研] 一志愿085404，总分291，四级已过，求调剂 +10 阿俊阿俊阿俊 2026-04-04 12/600 2026-04-09 16:18 by lin-da
[考研] 368化学求调剂 +13 wwwwabcde 2026-04-07 14/700 2026-04-09 14:47 by heaven_jay
[考研] 求调剂 +13 柒luck 2026-04-07 13/650 2026-04-08 22:46 by 猪会飞
[考研] 化学0703-一志愿211-338分求调剂 +10 vants 2026-04-05 11/550 2026-04-08 16:02 by screening
[考研] 求调剂 +15 熊二想上岸 2026-04-06 15/750 2026-04-08 04:53 by 无际的草原
[考研] 求考研材料调剂 +3 材化李可 2026-04-07 3/150 2026-04-08 00:21 by JourneyLucky
[考研] 22408 调剂材料 +7 我叫ez 2026-04-06 8/400 2026-04-07 17:12 by 蓝云思雨
[论文投稿] Decision: Revise for Editor还会送审吗 100+3 CccccccccFD 2026-04-04 5/250 2026-04-07 10:58 by 北京莱茵润色
[考研] 304求调剂 +4 luoye0105 2026-04-05 4/200 2026-04-06 21:05 by 木子君1218
[考研] 22408 331分求调剂 +4 y__1 2026-04-06 4/200 2026-04-06 17:26 by 土木硕士招生
[考研] 求助 +3 卡卡东88 2026-04-06 4/200 2026-04-06 15:28 by going home
[考研] 一志愿哈尔滨工业大学085600英一数二337分求调剂 +12 lyz0427 2026-04-03 12/600 2026-04-06 06:37 by houyaoxu
[考研] 化学357分，考研调剂 +11 .Starry. 2026-04-04 12/600 2026-04-06 06:28 by houyaoxu
[考研] 0860 求调剂 一志愿国科大 348 分 +3 WiiiP 2026-04-03 3/150 2026-04-05 17:43 by Ecowxq666！
[考研] 求生物学学硕调剂——364分 +7 云朵遛弯指南 2026-04-04 7/350 2026-04-04 22:49 by zhyzzh
[考研] 一志愿南农090401，268，求调剂 +5 一木鸟然 2026-04-04 5/250 2026-04-04 17:07 by babysonlkd
[考研] 复试调剂 +6 范根培 2026-04-04 6/300 2026-04-04 14:27 by 土木硕士招生
[考研] 268求调剂 +8 你好tg 2026-04-03 9/450 2026-04-04 05:08 by gswylq
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭