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ycyzrenlifei金虫 (小有名气)
南理汉子
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[求助]
如何在SiO2(二氧化硅)上加工一条微米级别的「导线」？已有3人参与
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 如图所示. 1.这根导线由两种材料（镍铬—铜镍）金属连接而成。 2.导线宽度大约在30微米宽。 这样的一个玩意儿该如何做呢？ ———————————————————————————— 我的思路： 第一步：在二氧化硅上涂一层光刻胶 第二步：用掩膜板对光刻胶进行曝光，在光刻胶上出现一条凹槽 第三步：然后溅射铜镍，这样铜镍金属就进入凹槽中了。 第四步：洗掉光刻胶，那么半个导线就做出来了。 第五步：同样的步骤，在刻好第一个金属线的表面整体再涂一层光刻胶，然后如上步骤..... 这样可行吗？ |
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reninhat
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2楼2014-09-04 17:16:15