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催化达人

金虫 (著名写手)

[求助] 如何在Al2O3上包覆一层很薄的SiO2 1-2 nm 已有1人参与

厚度要薄,stober法或ALD可行吗?或是有其他方法?多谢!
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Just do it,done is better than perfect
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mydayday

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
催化达人: 金币+20, ★★★★★最佳答案, 不晓得所里有没有,boss让用stober法外加点技巧 我就想哭了 2014-05-05 18:12:21
这个貌似你们做不了吧,应化所这个都有么?CVD解决不了么,别搞得那么高大上好不好,ALD, MBE, CVD, Sputter, Evapor, PLD, 都能搞得好不好,别忘了还可以自组装:
牛逼闪闪
2楼2014-05-05 15:08:27
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催化达人

金虫 (著名写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by mydayday at 2014-05-05 15:08:27
这个貌似你们做不了吧,应化所这个都有么?CVD解决不了么,别搞得那么高大上好不好,ALD, MBE, CVD, Sputter, Evapor, PLD, 都能搞得好不好,别忘了还可以自组装:

CVD和ALD有啥区别? MBE, CVD, Sputter, Evapor是啥?好高大上的样子
Just do it,done is better than perfect
3楼2014-05-05 18:15:11
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1318696069

金虫 (正式写手)

气相沉淀法,楼主可以试试
努力吧!
4楼2014-05-06 11:57:37
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催化达人

金虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 1318696069 at 2014-05-06 11:57:37
气相沉淀法,楼主可以试试

多谢指教!学校没这设备,准备先试试其他方法。
Just do it,done is better than perfect
5楼2014-05-06 15:25:42
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