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章小菁

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控反应溅射镀膜 已有1人参与

我这边想要利用磁控反应溅射技术,在不锈钢上镀AlN薄膜。但是不知道哪里的镀膜技术比较成熟。本人在南京读书,最好是在南京或者周边!拜托拜托~如果有人知道的话,告知一声哈!非常感谢~
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章小菁

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by lee0803 at 2014-11-06 18:10:38
AlN是要反应溅射的吧?做的人比较少。
你可以问问南大,东南那边半导体,电子方面的人。也可以问问苏州纳米所。

好的,谢谢啦!
3楼2014-11-06 18:24:59
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lee0803

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
章小菁: 金币+8, ★★★很有帮助 2014-11-06 18:25:17
AlN是要反应溅射的吧?做的人比较少。
你可以问问南大,东南那边半导体,电子方面的人。也可以问问苏州纳米所。
2楼2014-11-06 18:10:38
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发呆酱

铁虫 (初入文坛)

请问楼主在不锈钢上成功制备了AlN薄膜吗?
另外如果成功了,AlN薄膜晶面取向是002的吗?
谢谢
4楼2015-11-30 17:53:33
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