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章小菁

新虫 (初入文坛)

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专业: 机械摩擦学与表面技术

[求助] 磁控反应溅射镀膜已有1人参与

我这边想要利用磁控反应溅射技术，在不锈钢上镀AlN薄膜。但是不知道哪里的镀膜技术比较成熟。本人在南京读书，最好是在南京或者周边！拜托拜托~如果有人知道的话，告知一声哈！非常感谢~

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1楼2014-11-06 15:48:51

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章小菁

新虫 (初入文坛)

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专业: 机械摩擦学与表面技术

引用回帖:

2楼: Originally posted by lee0803 at 2014-11-06 18:10:38
AlN是要反应溅射的吧？做的人比较少。
你可以问问南大，东南那边半导体，电子方面的人。也可以问问苏州纳米所。

好的，谢谢啦！

3楼2014-11-06 18:24:59

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lee0803

木虫 (小有名气)

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【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
章小菁: 金币+8, ★★★很有帮助 2014-11-06 18:25:17

AlN是要反应溅射的吧？做的人比较少。
你可以问问南大，东南那边半导体，电子方面的人。也可以问问苏州纳米所。

2楼2014-11-06 18:10:38

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发呆酱

铁虫 (初入文坛)

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专业: 半导体微纳机电器件与系统

请问楼主在不锈钢上成功制备了AlN薄膜吗？
另外如果成功了，AlN薄膜晶面取向是002的吗？
谢谢

4楼2015-11-30 17:53:33

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