| 查看: 2650 | 回复: 7 | ||
[求助]
ALD制备薄膜问题 已有1人参与
|
|
各位虫友，有没有做ALD的？本人刚刚开始用ALD制备薄膜，源以及制备温度都是参考文献做的，但是基片上一直没有镀上膜。在想会不会是基片预处理的问题。 预处理过程：先用丙酮洗，再用NaOH+双氧水。 各位有没有相关的经验，求教啊！！！ |
回复此楼» 本帖@通知
» 猜你喜欢
诚招 诚招 1-2名硕士，接受符合要求的学生跨专业调剂，非诚勿扰，谢谢
已经有0人回复
-
诚招1-2名硕士，接受符合要求的学生跨专业调剂，非诚勿扰，谢谢
已经有0人回复
-
有机高分子材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有232人回复
-
诚招1-2名硕士，接受符合要求的学生跨专业调剂，非诚勿扰，谢谢
已经有0人回复
-
学硕学硕学硕 诚招1名工学学硕，接受跨专业调剂，非诚勿扰，谢谢
已经有0人回复
-
诚招1-2名工学学硕，接受跨专业调剂，非诚勿扰，谢谢
已经有0人回复
-
NTU招聘生物微机电系统/微流控/3D打印/可穿戴器件方向全奖博士/博士后/访问学者
已经有0人回复
-
诚招1名工学学硕，接受跨专业调剂，非诚勿扰，谢谢
已经有0人回复
-
诚招工学学硕，接受跨专业调剂，非诚勿扰，谢谢
已经有0人回复
-
接工学跨专业调剂学生，非诚勿扰，谢谢
已经有0人回复
-
北京化工大学林艺扬课题组招收硕士研究生（材料和化学）
已经有1人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 请问哪里可以用ALD原子层沉积系统做氧化锌的膜?
已经有6人回复
- 中科院深圳先进技术研究院—香港城市大学 功能薄膜材料研究中心招聘
已经有16人回复
- 四（二甲）氨基锆+H2O ALD法合成氧化锆薄膜技术问题
已经有5人回复
- 求助 ZnO 薄膜器件（TFT）的IV测试
已经有21人回复
- 请问大家都在用哪个公司的ALD系统
已经有4人回复
- Nature Nanotechnology: MoS2 二维材料综述
已经有872人回复
- 什么是外延法制备薄膜？不是外延法是什么方法？？
已经有6人回复
- 分享一篇27页的Al2O3薄膜综述
已经有127人回复
- 薄膜的生长问题
已经有21人回复
- 求助ALD生长HfO2出现的问题
已经有13人回复
- 化学浴法制备的无定型态CdS薄膜的紫外-可见光透射及吸光谱
已经有33人回复
- 半导体薄膜异质结制备要求
已经有8人回复
- 原子层沉积技术-ALD
已经有7人回复
- 【求助】请教，修饰电极用Nafion膜溶于水，怎么回事？
已经有9人回复
- 【求助】TiO2纳米粒子问题
已经有15人回复
- 【求助】电致变色薄膜的最小变色电流是多少
已经有5人回复
- 【请教】石墨烯制备经验
已经有19人回复
wbcui
至尊木虫 (知名作家)
- MEPI: 1
- 应助: 221 (大学生)
- 贵宾: 0.349
- 金币: 16296.6
- 散金: 359
- 红花: 73
- 帖子: 8321
- 在线: 919小时
- 虫号: 543804
- 注册: 2008-04-11
- 专业: 金属功能材料
2楼2014-10-24 15:46:24
3楼2014-10-25 22:13:42
4楼2014-10-26 14:54:45
5楼2014-10-26 14:57:03
6楼2014-11-25 16:29:40
153470403
新虫 (小有名气)
- 应助: 1 (幼儿园)
- 金币: 419.8
- 帖子: 94
- 在线: 19.5小时
- 虫号: 3589954
- 注册: 2014-12-11
- 性别: GG
- 专业: 化工热力学和基础数据
7楼2015-04-13 16:08:14
|
虽然，你提问在2014年，现在都2016年了，在以后必定也会有人会问这样的问题。在此我阐述一下我的观点。 导致薄膜长不上的原因有很多，如下： 1、出源量太低。虽然你使用了文献中的参数，但是不同设备还是有差异的，出源量低会导致薄膜生长不上，或者太薄，小于5纳米肉眼看不到。 2、周期太少。理由同上。 3、一般清洗用丙酮（5~10min超声）+酒精（5~10min超声）+HF(2%,不知道要多少时间)+De-water（5~10min 超声），HF清洗会影响表面羟基密度，具体清洗时间我不清楚，我下个星期做实验验证一下。我以前做的实验都是用HF（1%）泡3~5分钟。以前还超声过HF（1%）3~5分钟，结果长不上薄膜。其实最好用标准清洗的，但是RC-1，RC-2，实验室配起来太尴尬了，产生Cl2，我也是醉了。 4、载流气太小。源的扩散还没有到达衬底位置就被Purge了。 5、衬底位置太靠近排气口。 6、NaOH+双氧水，我没试过，不敢妄下结论。 7、腔室温度太高或太低。金属衬底温度低，生长速率低或长不上。而某些源温度过高分解。 |
8楼2016-06-06 20:47:34
